发明名称 Metal-Oxide-Semiconductor High Electron Mobility Transistors and Methods of Fabrication
摘要 A method of fabricating Group III-V semiconductor metal oxide semiconductor (MOS) and III-V MOS devices are described.
申请公布号 US2013288461(A1) 申请公布日期 2013.10.31
申请号 US201313930332 申请日期 2013.06.28
申请人 AVAGO TECHNOLOGIES GENERAL IP (SINGAPORE) PTE. LTD 发明人 DUNGAN THOMAS EDWARD;NIKKEL PHILIP GENE
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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