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发明名称 Plasma device for processing of surface of elements
摘要
申请公布号 PL215139(B1) 申请公布日期 2013.10.31
申请号 PL20070383703 申请日期 2007.11.06
申请人 INSTYTUT MASZYN PRZEPLYWOWYCH PAN;JASINSKI MARIUSZ;GOCH MARCIN;MIZERACZYK JERZY 发明人 JASINSKI MARIUSZ;GOCH MARCIN;MIZERACZYK JERZY
分类号 H01L21/3065;C23C16/513;H05H1/00 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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