发明名称 Sensoranordnung
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensoranordnung (SAN) zum Messen eines Drucks einer Umgebung, umfassend eine Atmosphäre. Die Sensoranordnung umfasst einen Resonator (RES), ein Heizelement (HE), das mit dem Resonator (RES) wärmegekoppelt ist, und Mittel zum Messen der Resonanzfrequenz des Resonators (RES). Die vorliegende Erfindung betrifft ferner Verfahren zum Messen eines Drucks einer Umgebung, umfassend eine Atmosphäre, unter Verwendung dieser Sensoranordnung.
申请公布号 DE112011104825(T5) 申请公布日期 2013.10.31
申请号 DE201111104825T 申请日期 2011.02.02
申请人 EPCOS AG 发明人 NICOLAY, PASCAL, DR.;RUILE, WERNER, DR.;PEROIS, XAVIER
分类号 G01L21/22 主分类号 G01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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