摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensoranordnung (SAN) zum Messen eines Drucks einer Umgebung, umfassend eine Atmosphäre. Die Sensoranordnung umfasst einen Resonator (RES), ein Heizelement (HE), das mit dem Resonator (RES) wärmegekoppelt ist, und Mittel zum Messen der Resonanzfrequenz des Resonators (RES). Die vorliegende Erfindung betrifft ferner Verfahren zum Messen eines Drucks einer Umgebung, umfassend eine Atmosphäre, unter Verwendung dieser Sensoranordnung.
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