检漏装置

摘要

一种检漏装置具有与测试腔室（42）经由测试气体管道（48）连接的前级真空泵。此外，设有高真空泵（10），在所述高真空泵的入口（36）处设置有测试气体检测器（38）。出口（34）与前级真空泵（40）连接。测试气体管道（44）为了粗略检查物体而经由连接管道（48）与设置在高真空泵（10）的入口（36）和出口（34）之间的中间区域（50）连接。在此，测试气体的从中间区域（50）延伸至入口（36）的反流路径短于从高真空泵（10）的入口（36）到出口（34）的主流路径。此外，在连接管道（48）中设置有用于将测试气体减压到一定压力上的气体减压装置（44），所述压力匹配于高真空泵（10）在中间区域（50）中的内部压力水平和吸气能力。

主权项

一种检漏装置，具有：与测试腔室（42）和/或要测试的物体和前级真空泵（40）连接的测试气体管道（44），和高真空泵（10，11），在所述高真空泵的入口处设置有测试气体检测器（38）并且所述高真空泵的出口（34）与所述前级真空泵（40）连接，其中所述高真空泵（10，11）具有至少一个转子元件（12，13），使得限定从所述入口（36）沿着所述至少一个转子元件（12，13）到所述出口（34）的主流路径，并且其中所述高真空泵（10，11）具有第一级（10）、沿主流动方向连接在所述第一级处的第二级（15）和沿主流动方向连接在所述第二级处的至少一个另外的级（17，72，74），其特征在于，为了粗略地检查物体，所述测试气体管道（44）经由连接管道（48）与所述另外的级（17，72，74）中的一个在所述另外的级（17，72，74）的中间区域（50）中连接，并且所述高真空泵（10，11）的出口（34）与所述前级真空泵（40）保持连接，使得所述测试气体的从所述中间区域（50）延伸至所述入口（36）的反流路径短于所述主流路径，并且在所述连接管道（48）中设置有用于将所述测试气体减压到一定压力上的气体减压装置（54），所述压力匹配于所述高真空泵（10，11）在所述中间区域（50）中的内部吸气能力，并且泄漏寻找能够在所述高真空泵（10，11）的前级真空稳定性最大的情况下开始。