波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备

摘要

本发明提供了一种波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备，该波长可变干涉滤波器具备：设置有固定反射膜的固定基板、设置有可动反射膜的可动基板、第一静电致动器以及能与第一静电致动器独立驱动的第二静电致动器，其中，构成第一静电致动器的两个第一部分致动器在俯视时分别具有相同的形状，且相对于滤波器中心点等角度间隔且相同距离地配置，构成第二静电致动器的两个第二部分致动器在俯视时分别具有相同的形状，且相对于滤波器中心点等角度间隔且相同距离地配置。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板相对；第一反射膜，设置于所述第一基板；第二反射膜，设置于所述第二基板，隔着反射膜间间隙与所述第一反射膜相对；第一致动器，在从基板厚度方向俯视观察所述第一基板及所述第二基板时，设置在所述第一反射膜及所述第二反射膜重叠的光干涉区域的外侧，所述第一致动器改变所述反射膜间间隙；以及第二致动器，在所述俯视时，设置在所述光干涉区域的外侧，所述第二致动器与所述第一致动器独立地驱动，改变所述反射膜间间隙，其中，所述第一致动器具有多个第一部分致动器，在所述俯视时，多个所述第一部分致动器分别具有相同的形状，被设置在相对于所述光干涉区域上的一点为等角度间隔且距离所述一点的距离是相同距离的位置上，所述第二致动器具有多个第二部分致动器，在所述俯视时，多个所述第二部分致动器分别具有相同的形状，被设置在相对于所述光干涉区域上的一点为等角度间隔且距离所述一点的距离是相同距离的位置上。