一种吹扫净化方法及其装置

摘要

本发明公开了一种吹扫净化方法及其装置。本发明所提供的吹扫净化方法通过对特种气体系统进行排料操作和多次的吹扫净化操作，实现了将待处理设备及管道中残留的特种气体吹扫净化的目的。本发明还提供了一种吹扫净化装置，该装置包括管路系统和柜壳，其中，管路系统包含有多种阀门、管道和压力表，柜壳为密封柜壳，管路系统固定设置在柜壳中。本发明所公开的吹扫净化装置基于本发明所公开的吹扫净化方法，通过使用本发明所提供的吹扫净化装置，实现了将特种气体系统设备及管道内残留的特种气体吹扫净化的目的。

主权项

一种吹扫净化方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤01)利用充入的氮气将待处理设备及管路中原有的特种气体排出；步骤02)将处于预设压力的所述待处理设备及管道抽真空；步骤03)利用充入的氮气使所述待处理设备及管道达到所设预设压力；步骤04)多次重复所述步骤02)和所述步骤03)，至所述待处理设备及管道中的特种气体浓度符合要求。