芯片化学清洗控制系统

摘要

一种芯片化学清洗控制系统，包括控制器、用以检测稀释罐液位的液位传感器以及原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀，所述检测稀释罐液位的液位传感器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀，当所述稀释罐的液位低于预定值时，控制打开原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀为稀释罐充液。本控制系统根据稀释罐内的液量判断是否需要开启相应的装置，而不是机械的按事先设定的流程将所有开关先打开，因此控制更加智能。

主权项

一种芯片化学清洗控制系统，其特征在于：包括控制器、用以检测稀释罐液位的液位传感器以及原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀，所述检测稀释罐液位的液位传感器连接所述控制器输入，所述控制器输出连接原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀，当所述稀释罐的液位低于预定值时，控制打开原液桶和稀释罐连接管道上的可控阀为稀释罐充液。