发明名称 对准标记的检测方法
摘要 本发明提供一种可进行正确的工件标记检测的对准标记的检测方法及装置。其解决手段为使用对准显微镜(10),进行工件(W)的表面影像显像,将作为工件标记(WAM)应登记的呈现方式(形状或明暗或色调)不同的多个图形,作为工件标记WAM1~n登记到控制部(11)的存储部(11b)。检测工件标记时,使用该工件标记WAM1~n,进行检索区域内图形的检索,以比较·评估部(11c)比较所登记的工件标记WAM1~n与检索区域内的图形求得一致度的点数,点数例如超过预定值时,判定该图形为工件(W)上的工件标记(WAM)。对位控制部(11e)使用该工件标记(WAM)进行掩模(M)与工件(W)的对位。
申请公布号 CN101738882B 申请公布日期 2013.10.30
申请号 CN200910212112.2 申请日期 2009.11.10
申请人 优志旺电机株式会社 发明人 筱山理惠
分类号 G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 主分类号 G03F9/00(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 黄剑锋
主权项 一种对准标记的检测方法,是以突起或凹陷形成在工件上的工件·对准标记的检测方法,其特征为,包含:第1步骤,对实际的工件上形成的工件·对准标记进行显像,根据显像的上述工件·对准标记的图像,将呈现方式不同的多个工件·对准标记图形、该工件·对准标记图形的中心位置的位置座标事先作为登记图形登记在存储部;第2步骤,对工件上的图形进行显像;第3步骤,逐一读取登记在上述存储部的多个上述登记图形,比较进行了上述显像的工件上的图形和上述所读取了的登记图形,评估两者的一致度;第4步骤,采用进行了上述显像的工件上的图形,及获得最高一致度的上述登记图形或者获得事先被设定的值以上的一致度的上述登记图形,将与所采用的该登记图形的一致度高的显像图形作为工件·对准标记进行检测;以及第5步骤,根据所采用的上述登记图形的中心位置座标,确定上述显像的工件上的图形的位置座标。
地址 日本东京都
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