铝板化学蚀刻工艺

摘要

本发明公开了一种铝板化学蚀刻工艺，所述蚀刻工艺包括如下步骤：（1）铝板预处理；（2）丝网印刷；（3）图纹蚀刻；（4）除墨；（5）钝化处理。本发明工艺简单，质量可控，具有蚀刻角度和蚀刻量能满足客户要求和提高蚀刻产品优良率的优点。本发明使用的蚀刻液可改善金属膜层的润湿和腐蚀均匀性，即改善蚀刻后表面的平整度，减少侧蚀刻量，与现有铝蚀刻液相比，对金属铝蚀刻速率高，反应稳定，无残留，基本无侧蚀现象。

主权项

铝板化学蚀刻工艺，其特征在于，所述蚀刻工艺包括如下步骤：（1）铝板预处理：除油处理后进行水洗干燥；（2）丝网印刷；（3）图纹蚀刻：使用的蚀刻液中各组分的含量为：FeCl3 600～800 g／L，38％的HCl 80～120 g／L， H3P04  20～40g／L，蚀刻加速剂 60～100 g／L；蚀刻液温度为10～50℃；浸渍时间为15～30min；（4）除墨：浸入40～60 g／L NaOH碱液中，温度控制在60～70℃，浸泡3～5min后水洗；（5）钝化处理：于体积分数为50％HN03和50％H20的溶液中浸泡l0～20min。