| 发明名称 | 一种高分辨率线性干涉仪 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种高分辨率线性干涉仪，包括：偏振分光棱镜、透射臂角锥棱镜、反射臂角锥棱镜，所述干涉仪还包括透射臂四分之一波片，反射臂四分之一波片以及公共角锥棱镜，所述公共角锥棱镜和反射臂四分之一波片分别设置于所述偏振分光棱镜的相对两侧面，所述透射臂四分之一波片设置于所述偏振分光棱镜相对于入射激光光源的第三侧面，所述透射臂四分之一波片设置于所述偏振分光棱镜和透射臂角锥棱镜之间，所述反射臂四分之一波片设置于所述偏振分光棱镜和反射臂角锥棱镜之间。本发明提出的光学高分辨率的线性干涉仪，它仍然以角锥棱镜作为被测物体，使用时对装调要求不高，但通过增加四分之一波片，具备四倍光学细分的优点，使光学分辨率提高到λ/4。 | ||
| 申请公布号 | CN103376055A | 申请公布日期 | 2013.10.30 |
| 申请号 | CN201210118777.9 | 申请日期 | 2012.04.20 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 张志平;吴萍;王珍媛;张记晨;池峰 |
| 分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G02B5/30(2006.01)I | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种高分辨率线性干涉仪，包括：偏振分光棱镜、透射臂角锥棱镜、反射臂角锥棱镜，其特征在于：所述干涉仪还包括透射臂四分之一波片，反射臂四分之一波片以及公共角锥棱镜，其中，所述公共角锥棱镜和反射臂四分之一波片分别设置于所述偏振分光棱镜的相对两侧面，所述透射臂四分之一波片设置于所述偏振分光棱镜相对于入射激光光源的第三侧面，所述透射臂四分之一波片设置于所述偏振分光棱镜和透射臂角锥棱镜之间，所述反射臂四分之一波片设置于所述偏振分光棱镜和反射臂角锥棱镜之间。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||