| 发明名称 | 基板吸附装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种基板吸附装置，用于吸附一基板，该基板吸附包括一本体、至少一承载臂以及至少一可替换单元。该承载臂固定于该本体上。该可替换单元固定于该承载臂上且包括至少一吸取单元。本实用新型之基板吸附装置能根据基板的放置方式而藉由更换可替换单元达到快速更换不同吸取单元之目的，进而节省时间与降低成本。 | ||
| 申请公布号 | CN203260561U | 申请公布日期 | 2013.10.30 |
| 申请号 | CN201320165938.X | 申请日期 | 2013.04.03 |
| 申请人 | 盟立自动化股份有限公司 | 发明人 | 黄馨谊 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;B25B11/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人 | 翟羽 |
| 主权项 | 一种基板吸附装置，其特征在于，包括：一本体；至少一承载臂，固定于该本体上；以及至少一可替换单元，固定于该承载臂上且包括至少一吸取单兀o | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市科学工业园区研发二路3号 | ||