一种折反射式投影物镜

摘要

本发明提出一种折反射式投影物镜，用于将投影物镜物平面上的图案成像到像平面上，包括前组透镜组，光阑和后组透镜组，其中，所述光阑设置在所述前组透镜和所述后组透镜之间，所述后组透镜组与所述前组透镜组同光轴；所述前组透镜组包括沿光轴依次排列的第一透镜组，反射镜组和第二透镜组；所述前透镜组包含一双高斯结构镜组，及两片厚透镜。本发明将投影物镜以光阑为分界点，对光阑以前部分和光阑以后部分分别进行优化，前组透镜组中包括一双高斯结构镜组，含有两片厚透镜，有效控制光阑像差尤其是像散和场曲，使物方远心得到有效控制；后组透镜包括三片非球面，用于平衡像差，一片厚透镜用于校正场曲，还包括一个校正平板，可以用于产生任意的非球面，用于在重抛后校正系统像差。整个投影物镜有效控制了远心对畸变的影响。同时在接近像面的位置采用两片非球面校正畸变，使物镜在有效焦深范围内的畸变可以得到有效控制。

主权项

一种折反射式投影物镜，用于将投影物镜物平面上的图案成像到像平面上，包括前组透镜组，光阑和后组透镜组，其中，所述光阑设置在所述前组透镜和所述后组透镜之间，所述后组透镜组与所述前组透镜组同光轴；所述前组透镜组包括沿光轴依次排列的第一透镜组，反射镜组和第二透镜组；所述前透镜组包含一双高斯结构镜组，及两片厚透镜。