发明名称 检查装置
摘要 本发明涉及检查装置。本发明的目的在于,提供一种能够以简单的结构直接地变更探测器温度的检查装置。本申请发明的检查装置的特征在于,具备:探测器基板;管筒,被固定于该探测器基板;电热丝,被缠绕于该管筒;探测器前端部,以能装卸的方式连接于该管筒;工作台,装载被测定物;以及加热部,对该工作台进行加热。
申请公布号 CN103379682A 申请公布日期 2013.10.30
申请号 CN201310093674.6 申请日期 2013.03.22
申请人 三菱电机株式会社 发明人 冈田章;秋山肇;山下钦也
分类号 H05B3/34(2006.01)I;H05B6/06(2006.01)I 主分类号 H05B3/34(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 何立波;张天舒
主权项 一种检查装置,其特征在于,具备:探测器基板;管筒,被固定于所述探测器基板;电热丝,被缠绕于所述管筒;探测器前端部,以能装卸的方式连接于所述管筒;工作台,装载被测定物;以及加热部,对所述工作台进行加热。
地址 日本东京都