基板吸附装置

摘要

本发明以简单的构成提供一种基板吸附装置，该基板吸附装置借由缓慢地达到必要的基板吸附压，而抑制残留的碎屑导致基板刮痕的发生，同时能够将整体加工时间的延迟抑制到最小。从吸附平台1的吸引孔（1a）连通真空泵（P）的空气流路（2）的中间安装流量控制部（3），且流量控制部（3）具备有以下构成：将吸附基板（W）的方向的空气流动作为控制流而限制基板（W）的急速吸引的绞拧部、以及容许其反方向流动的止回阀（37）。

主权项

一种基板吸附装置，在吸附平台的表面设置多个吸引孔，且借由来自真空泵的吸引空气而保持吸附载置于吸附平台上的基板，其特征在于：在从该吸附平台的吸引孔连通真空泵的空气流路中安装流量控制部，且该流量控制部具备有：绞拧部，将吸附基板的方向的空气的流动作为控制流而限制基板的吸引；以及止回阀，容许空气反方向流动。