发明名称 | 纳米平板印刷方法和装置 | ||
摘要 | 本发明主要地涉及纳米平板印刷装置和方法。这样的方法包括:提供(S10):模具(100),在模具的一侧(101)上包括形貌图案(140),形貌图案由具有纳米级尺度的结构(130)形成;以及在衬底(220)上的与模具的所述一侧相对的可热分解聚合物膜(210),诸如聚邻苯,其中该结构被加热至聚合物膜的分解温度(Td)以上;使所述结构与聚合物膜接触(S20)以热分解其与所述结构对应的部分;并且从聚合物膜去除(S50)结构。 | ||
申请公布号 | CN103376646A | 申请公布日期 | 2013.10.30 |
申请号 | CN201310125512.6 | 申请日期 | 2013.04.11 |
申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | F·霍尔泽;A·W·诺尔 |
分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 酆迅;张宁 |
主权项 | 一种纳米平板印刷方法,包括: 提供(S10): 模具(100),在所述模具的一侧(101)上包括具有纳米级尺度的结构(130),所述结构形成形貌图案(140);以及 衬底(220)上的、与所述模具的所述一侧相对的可热分解聚合物膜(210), 其中所述结构被加热至所述聚合物膜的分解温度(Td)以上; 使所述结构与所述聚合物膜接触(S20)以热分解(S30)其与所述结构对应的部分;并且 从所述聚合物膜去除(S50)所述结构。 | ||
地址 | 美国纽约阿芒克 |