发明名称 |
用于元件尤其是电子元件的操纵工具 |
摘要 |
本发明涉及一种用于元件(2)尤其是电子元件(2)的操纵工具(1),其包括能够被施加负压(PU)的保持开口(18),待操纵的元件可依靠负压(PU)保持在该保持开口(18)上。在此设计,在该保持开口(18)中设有至少一个反向支承(8),该反向支承在工作位置上朝外突出于开口平面(20)。本发明还涉及一种操纵元件尤其是电子元件的方法,包括以下步骤:依靠负压吸取元件并且通过负压保持该元件;在该元件被施加负压的表面的区域内支撑依靠负压来保持的元件,使该表面尤其是元件从负压侧看呈凹形弯曲。 |
申请公布号 |
CN101558485B |
申请公布日期 |
2013.10.30 |
申请号 |
CN200780045524.0 |
申请日期 |
2007.12.04 |
申请人 |
罗伯特·博世有限公司 |
发明人 |
K·施托佩尔 |
分类号 |
H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 |
北京市金杜律师事务所 11256 |
代理人 |
苏娟 |
主权项 |
一种用于元件的操纵工具,包括能够被施加负压的保持开口,待操纵的元件能够依靠负压被保持在该保持开口上,其特征是,在所述保持开口(18)中设有至少一个反向支承(8),该反向支承在工作位置上朝外突出于开口平面(20),并且该反向支承被至少一个负压导入通道(9)贯穿,其中,具有所述保持开口(18)的套筒(12)以相对于所述反向支承(8)可轴向移动的方式被支撑在所述反向支承(8)上。 |
地址 |
德国斯图加特 |