工艺数据分析方法和系统

摘要

本发明提供了一种工艺数据分析方法和系统，其中的方法具体包括：针对查询得到的工艺数据，进行自顶向下的逐级筛选，定位到分析对象；设置所述分析对象的曲线属性；依据所述曲线属性，绘制相应分析对象的曲线；依据所述曲线，对相应分析对象进行分析。本发明用以便捷、高效地进行工艺数据的分析。

主权项

一种工艺数据分析方法，其特征在于，包括：针对查询得到的工艺数据，进行自顶向下的逐级筛选，按照腔室到硅片到工艺过程参数的筛选顺序，定位到分析对象；具体包括：腔室定位步骤：识别当前分析对象所属的腔室，并依据所述查询工艺数据，获取所识别腔室的工艺数据；硅片定位步骤：识别当前分析对象所属的硅片，并依据所识别腔室的工艺数据，获取所识别硅片的工艺数据；参数定位步骤：识别当前分析对象所属的工艺过程参数，并依据所识别硅片的工艺数据，获取所识别工艺过程参数的工艺数据；设置所述分析对象的曲线属性；依据所述曲线属性，绘制相应分析对象的曲线；依据所述曲线，对相应分析对象进行分析。