圆片级玻璃微腔的可脱模发泡制备方法

摘要

本发明公开一种圆片级玻璃微腔的可脱模发泡制备方法，包括以下步骤：在硅圆片上刻蚀微槽阵列得到硅圆片模具；在所述硅圆片模具的微槽阵列内放置热释气剂粉末；将硼硅玻璃圆片与所述硅圆片模具通过粘结层粘结在一起，使得硅圆片模具的微槽阵列密封；将粘结好的所述圆片放入加热炉内加热，至玻璃软化温度以上并保温，热释气剂放出的气体使得软化的玻璃成型获得玻璃微腔，冷却，退火；然后将上述成型后的圆片放入粘结层腐蚀剂中，去除粘结层，从而脱去硅圆片模具，得到圆片级玻璃微腔。本发明在硼硅玻璃圆片与硅圆片之间设置粘结层，该粘结层被腐蚀剂选择性的去除，使得硅圆片模具能够被完全脱离。

主权项

一种圆片级玻璃微腔的可脱模发泡制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，在硅圆片（1）上刻蚀微槽阵列（2）得到硅圆片模具；第二步，在所述硅圆片模具的微槽阵列(2)内放置热释气剂粉末(6)；第三步，将硼硅玻璃圆片与所述硅圆片模具通过粘结层(11)粘结在一起，使得硅圆片模具的微槽阵列(2)密封；第四步，将粘结好的所述圆片加热，至玻璃软化温度以上并保温，热释气剂放出的气体使得软化的玻璃成型获得玻璃微腔（4），冷却，退火；第五步，然后将上述成型后的圆片放入粘结层腐蚀剂中，去除粘结层（11），从而脱去硅圆片模具，得到圆片级玻璃微腔（4）。