发明名称 修整盘
摘要 1.本外观设计产品的名称为修整盘。2.本外观设计产品用于半导体制造用CMP装置,通过定位销和基于磁铁或真空的吸引力固定在保持器上进行使用,在设于盘上的圆形孔中嵌合磨料而形成,将凸状的夹具抵接于的孔并按压本外观设计产品的外周部,将本外观设计产品从上述吸引力脱离。3.本外观设计为针对同一产品的3项相似外观设计,其中指定设计1为基本设计。4.本外观设计产品的设计要点在于产品的形状。5.指定设计1主视图为最能表明设计要点的视图。6.由于设计1至3的后视图、右视图分别与设计1至3的主视图、左视图相同,故省略设计1至3的后视图和右视图。
申请公布号 CN302617583S 申请公布日期 2013.10.30
申请号 CN201330087321.6 申请日期 2013.03.20
申请人 株式会社荏原制作所 发明人 筱崎弘行;前川敏郎
分类号 08-05 主分类号 08-05
代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 陈伟
主权项
地址 日本东京都