多晶硅回蚀溶液及其用途

摘要

本发明公开了一种多晶硅回蚀溶液，由氢氧化钠、次氯酸钠、硅酸钠、有机酸或有机醇及余量的水组成。本发明不改变多晶硅片表面的颜色。从扫描电镜中观察，回蚀后的绒面形貌与回蚀前几乎没有差别。将扩散后的多晶硅片浸泡于回蚀溶液中，使得低薄层电阻的硅片被回蚀到高薄层电阻，且高薄层电阻的均匀性在90%以上。

主权项

1.一种多晶硅回蚀溶液，其特征是：由下列体积百分比的成分混合组成：余量为水；所述有机酸为乙酸、丙酸、丁酸、庚酸中的一种或几种；所述有机醇为正丁醇。