正型感光性树脂组合物以及使用了该组合物的固化膜形成方法

摘要

本发明提供感度、残余膜率、保存稳定性优异的正型感光性树脂组合物以及使用了该组合物的固化膜形成方法，通过使所述组合物固化，可以得到耐热性、粘附性、透射率等优异的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于包含：含有通过解离性基解离而生成羧基的特定的苯乙烯系结构单元、为碱不溶性或碱难溶性并且在酸解离性基团发生解离时变为碱溶性的树脂；具有由含有环氧基的自由基聚合性单体衍生得到的结构单元的树脂；分子内具有2个以上环氧基的化合物(但不包括具有由含有环氧基的自由基聚合性化合物形成的结构单元的上述树脂)、以及通过波长为300nm以上的活性光线的照射而产生酸的化合物。

主权项

1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有A1树脂、A2聚合物或共聚物和B通过活性光线的照射而产生酸的化合物，所述A1树脂含有下述通式（1）所示的结构单元，该树脂为碱不溶性或碱难溶性，并且当酸解离性基团解离时该树脂变为碱溶性，所述A2聚合物或共聚物具有由含有能够与羧基反应形成共价键的官能团的自由基聚合性单体衍生得到的结构单元，所述能够与羧基反应形成共价键的官能团为环氧基或氧杂环丁烷基，所述A1和A2的质量比为20:80～80:20，所述B的含量相对于A1和A2的总量100质量份为0.1～10质量份，通式（1）中，R¹表示氢原子或甲基；R²和R³各自独立地表示氢原子、碳原子数为1～6的直链状或支链状的烷基，但是排除R²和R³同时为氢原子的情况；R⁴表示可被取代的碳原子数为1～10的直链状、支链状或环状的烷基、或者碳原子数为7～10的芳烷基；R²或R³可以与R⁴连接而形成环状醚。