用于真空电子器件的强流电子注能散测量系统及测量方法

摘要

本发明公开了一种强流电子注能散测量系统，包括真空腔体、二极铁电磁体、双狭缝铜体、YAG探测器和CCD图像采集器。真空腔体是扁平的且横截面呈矩形，其纵向与水平面平行；二极铁电磁体的两极分别安装在真空腔体的上下两面，以在真空腔体内产生垂直于水平面的均匀磁场；双狭缝铜体安装在真空腔体的内部，用于将强流电子注变成弱流电子注，并准直进入真空腔体；电子YAG探测器位于双狭缝铜体出射的电子注流偏转90度的方向上，用于探测电子注空间密度分布；CCD图像采集器用于捕捉YAG探测器上生成的电子能散图像。本发明可以测量几百至100k电子伏能量、导流系数在0.1至十几微朴的强流电子注的能散相对分辨率与能散曲线。

主权项

一种强流电子注能散测量系统，其特征在于，包括一个真空腔体(101)、一个二极铁电磁体(201)、一个双狭缝铜体(301)、一个YAG探测器(401)和一个CCD图像采集器(501)；所述真空腔体(101)是一个扁平的且横截面呈矩形的真空腔体，其纵向与水平面平行，且由无磁金属材料制成，内部真空度为1×10‑6Pa数量级；所述二极铁电磁体(201)的两极分别安装在所述真空腔体(101)的上下两面，以在所述真空腔体(101)内产生垂直于水平面的均匀磁场；所述双狭缝铜体(301)安装在所述真空腔体(101)的内部，由无氧铜制成，用于将强流电子注变成弱流电子注，并准直进入真空腔体(101)；所述电子YAG探测器(401)位于所述双狭缝铜体(301)出射的电子注流偏转90度的方向上，其由掺入Ce元素的晶体制成，用于探测电子注空间密度分布；所述CCD图像采集器(501)位于正对着YAG探测器(401)的随动平台(9)上，用于捕捉YAG探测器(401)上生成的电子能散图像。