发明名称 |
基板粘合装置 |
摘要 |
本发明提供一种基板粘合装置。该基板粘合装置能够高精度地进行基板的粘合。基板粘合装置(1)的控制部(14)用于进行如下控制:根据摄像部(5A、5B)的检测结果来驱动下构件移动机构(9),使设于下构件(8)的基板支承部(86)移动,而使支承于基板支承部(86)的显示基板(101)与保持于基板保持部(11)的带触摸式传感器的基板(121)之间进行相对定位;使真空容器(10)内进行脱气而形成预定的真空度,而使真空容器(10)内设定为真空状态;使基板保持部(11)下降而使其配置在粘合位置上,并使两块基板(101、121)相粘合。按压部(13)用于将粘合位置上的显示基板(101)的四个角向靠近带触摸式传感器的面板(121)的方向按压。临时固定用光源(6)用于照射紫外线,使夹设在两块基板(101、121)之间的紫外线固化树脂固化。 |
申请公布号 |
CN103376586A |
申请公布日期 |
2013.10.30 |
申请号 |
CN201310123788.0 |
申请日期 |
2013.04.10 |
申请人 |
株式会社日立高新技术 |
发明人 |
山崎不二夫;片冈文雄;宗藤正利 |
分类号 |
G02F1/1333(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/1333(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 |
代理人 |
刘新宇;张会华 |
主权项 |
一种基板粘合装置,其借助粘接构件在真空环境下使显示基板和盖基板相粘合,其中,该基板粘合装置包括:真空容器;基板保持部,其配置在上述真空容器内,该基板保持部用于保持上述盖基板或者上述显示基板;基板支承部,其配置在上述真空容器内,该基板支承部用于支承上述显示基板或者上述盖基板;摄像部,其用于检测保持于上述基板保持部、或者支承于上述基板支承部的上述显示基板、与支承于上述基板支承部、或者保持于上述基板保持部的上述盖基板之间的相对的位置;控制部,其用于进行如下控制:根据上述摄像部的检测结果,使上述基板保持部与上述基板支承部进行相对移动,并使上述显示基板与上述盖基板之间进行相对定位;使上述真空容器内进行脱气而形成预定的真空度,而使上述真空容器内设定为真空状态;使上述基板保持部与上述基板支承部进行相对移动而使其配置在粘合位置上,借助上述粘接构件使上述显示基板和上述盖基板相粘合;按压部,其设在上述真空容器内,该按压部用于将上述粘合位置上的上述显示基板的至少外缘部向靠近上述盖基板的方向按压;以及粘接构件固化部,其用于使夹设在上述显示基板与上述盖基板之间的上述粘接构件固化。 |
地址 |
日本东京都 |