发明名称 | 微机械传感元件和具有此类传感元件的传感装置 | ||
摘要 | 本发明涉及一种用于感测侧面加速度的微机械传感元件,具有至少两个基本上相互正交的边界,还具有至少一个弹簧元件,其特征在于,弹簧元件相对于所述边界中的至少一个倾斜地定向。 | ||
申请公布号 | CN103376337A | 申请公布日期 | 2013.10.30 |
申请号 | CN201310146319.0 | 申请日期 | 2013.04.24 |
申请人 | 罗伯特·博世有限公司 | 发明人 | F·舍费尔;N·乌尔布里希;H·埃梅里希 |
分类号 | G01P15/00(2006.01)I | 主分类号 | G01P15/00(2006.01)I |
代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 侯鸣慧 |
主权项 | 微机械传感元件(10),用于感测侧面加速度,具有至少两个基本相互正交地布置的边界(7),还具有至少一个弹簧元件(1,2),其特征在于,所述弹簧元件(1,2)相对于所述边界(7)中的至少一个倾斜地定向。 | ||
地址 | 德国斯图加特 |