发明名称 微机械传感元件和具有此类传感元件的传感装置
摘要 本发明涉及一种用于感测侧面加速度的微机械传感元件,具有至少两个基本上相互正交的边界,还具有至少一个弹簧元件,其特征在于,弹簧元件相对于所述边界中的至少一个倾斜地定向。
申请公布号 CN103376337A 申请公布日期 2013.10.30
申请号 CN201310146319.0 申请日期 2013.04.24
申请人 罗伯特·博世有限公司 发明人 F·舍费尔;N·乌尔布里希;H·埃梅里希
分类号 G01P15/00(2006.01)I 主分类号 G01P15/00(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 侯鸣慧
主权项 微机械传感元件(10),用于感测侧面加速度,具有至少两个基本相互正交地布置的边界(7),还具有至少一个弹簧元件(1,2),其特征在于,所述弹簧元件(1,2)相对于所述边界(7)中的至少一个倾斜地定向。
地址 德国斯图加特