| 主权项 |
一种自动对焦机构，包括：物镜，将激光聚光并照射到测定工件；分束器，分开经由该物镜来自该测定工件的反射光；第一光量限制器件，配置在被分开的一方的该反射光的焦点位置的前侧；第一光接收器件，接受通过了该第一光量限制器件的该反射光；第二光量限制器件，配置在被分开的另一方的该反射光的焦点位置的后侧；第二光接收器件，接受通过了该第二光量限制器件的该反射光；以及处理单元，将从第一光接收器件、第二光接收器件输出的信号分别变换为A信号电压、B信号电压，求式(1)、式(2)所示的A+B信号电压以及S信号电压，其中A+B信号电压＝A信号电压+B信号电压 (1)S信号电压＝(A信号电压‑B信号电压)/(A信号电压+B信号电压) (2)，其特征在于，所述处理单元包括：第一电压运算装置和第二电压运算装置，将成为所述S信号电压中最大电压以及最小电压的所述物镜和所述测定工件之间的距离中的所述A+B信号电压，分别确定为第一电压以及第二电压；S信号有效判定电压运算装置，将该第一电压以及第二电压中较高的电压确定为S信号有效判定电压，该S信号有效判定电压是使所述距离为所述物镜的焦点距离时获得的所述S信号电压即聚焦判断电压有效的阈值电压；以及焦点距离运算装置，在成为该S信号有效判定电压以上的电压的所述A+B信号电压的所述距离中，将成为所述聚焦判断电压的所述S信号电压的位置设为所述物镜的焦点距离。 |
