| 发明名称 | 网格加密方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种网格加密方法，其中公开了用于以因子n(n＜1)减小临界尺寸(CD)光刻工艺的方法的一个实施例。该方法包括：提供具有第一像素面积S1的图案发生器以产生具有等于n2*S1的第二像素面积S2的数据网格，其中，图案发生器包括具有多个网格段的多段结构，网格段均包括第一组网格段和第二组网格段，第一组网格段均被配置为在第一方向具有偏移；以及在光刻工艺期间，在垂直于第一方向的第二方向上扫描图案发生器，使得第二组网格段均被控制为具有时延。 | ||
| 申请公布号 | CN103376669A | 申请公布日期 | 2013.10.30 |
| 申请号 | CN201310125443.9 | 申请日期 | 2013.04.11 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 王文娟;林世杰;刘沛怡;许照荣;林本坚 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;孙征 |
| 主权项 | 一种以因子n减小临界尺寸(CD)的光刻工艺的方法，其中n＜1，包括：提供具有第一像素面积S1的图案发生器以产生具有等于n2*S1的第二像素面积S2的数据网格，所述图案发生器包括具有多个网格段的多段结构，所述网格段包括第一组网格段和第二组网格段，所述第一组网格均被配置为在第一方向具有偏移；以及在光刻工艺期间，在垂直于第一方向的第二方向上扫描所述图案发生器，使得所述第二组网格段均被控制为具有时延。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||