| 主权项 |
一种用于波长≤193nm的微光刻投影物镜，其包括：物面(10)；像面(20)；第一局部镜体组(300.1)，至少具有第一镜体和第二镜体；并且第二局部镜体组(200.1)，至少具有第三镜体(1020)和第四镜体(1030)，其中所述投影物镜的过渡图像(22)在所述第一局部镜体组(300.1)的第一镜体(1000)和所述第二局部镜体组(200.1)的第四镜体(1030)之间的光路中形成，其中所述第三镜体(1020)在从所述物面(10)到所述像面(20)的光路中是倒数第二个镜体，并且所述第三镜体是凹面镜，所述第四镜体是凹面镜，所述第一镜体、所述第二镜体、所述第三镜体和所述第四镜体具有开口，所述第一镜体具有第一镜体直径d2，所述第四镜体(1030)具有第二镜体直径d1，所述过渡图像具有到所述第四镜体的第一表面的第一距离z1，光线射到所述第一表面上，以及具有到所述第一镜体的表面的第二距离Z2，光线射到第一镜体的表面上，并且所述过渡图像的位置符合以下关系式： <mrow> <mfrac> <mrow> <mi>d</mi> <mn>1</mn> </mrow> <mrow> <mi>d</mi> <mn>2</mn> </mrow> </mfrac> <mo>≈</mo> <mfrac> <mrow> <mi>z</mi> <mn>1</mn> </mrow> <mrow> <mi>z</mi> <mn>2</mn> </mrow> </mfrac> <mo>.</mo> </mrow> |
