一种非接触式金属电迁移测量方法和装置

摘要

本发明公开了一种非接触式金属互连线电迁移测量方法，具体为：使用平行光照射标定用金属互联线，同时采用四探针检测标定用金属互联线的电阻；建立四探针检测到的标定用金属互联线的电阻与标定用金属互联线的表面反射光强的对应关系；使用平行光照射待测金属互联线；实时检测待测金属互联线表面反射光的强度；依据建立的电阻与反射光强的对应关系获取待测金属互联线在某反射光强下对应的电阻值。本发明还提供了测量装置，主要包括四探针、平行光光源、光学显微镜和计算机。本发明不接触试样的情况下对试样上的较大范围金属互连线电迁移同时进行实时检测，与普通的四探针检测方法相比，检测范围更大，时间更快、成本更低。

主权项

一种非接触式金属互连线电迁移测量方法，具体为：对待测金属互连线加热；使用平行光照射标定用金属互连线，同时采用四探针检测标定用金属互连线的电阻；建立四探针检测到的标定用金属互连线的电阻与标定用金属互连线的表面反射光强的对应关系；使用平行光照射待测金属互连线；实时检测待测金属互连线表面反射光的强度；依据建立的电阻与反射光强的对应关系获取待测金属互连线在特定反射光强下对应的电阻值。