太阳能电池刻蚀方法及其设备

摘要

本发明涉及太阳能电池制作技术领域，特别是一种太阳能电池刻蚀方法及其设备，该方法为：首先电池片扩散后进行整体湿法抛光，然后通过传输滚轮将刻蚀液带到电池片背面的扩散面及电池片前进方向后端边缘，实现电池片背面及一侧边缘的刻蚀，而后将电池片三次旋转方向，在向前传输的过程中完成其他三个边缘的刻蚀。其刻蚀设备中传输滚轮表面刻有对刻蚀液具有毛细作用的特细环形槽，多个传输滚轮为一组，方向转动装置设置在相邻的两组传输滚轮之间。通过对电池片湿法抛光，实现预刻蚀的同时可去除部分电池片表面氧化层；传输滚轮蘸液刻蚀，可减少刻蚀电池片的药液消耗量；电池片三次方向旋转保证了背面刻蚀的均匀性，并完成电池片四条边缘的刻蚀。

主权项

一种太阳能电池刻蚀方法，其特征在于：首先电池片（1）扩散后进行整体湿法抛光，然后通过传输滚轮（2）将刻蚀液带到电池片（1）背面的扩散面及电池片（1）前进方向后端边缘，实现电池片（1）背面及一侧边缘的刻蚀，而后将电池片（1）依次进行三次旋转方向，在向前传输的过程中完成其他三个边缘的刻蚀，所述的电池片（1）湿法抛光液是浓度为10%的HF酸液，所述的刻蚀液为10%浓度的HF酸和30%浓度的HNO3按照1：10的体积比例混合而成。