| 发明名称 | 一种柔性扩散炉 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种柔性扩散炉，包括有净化台、排毒柜、炉体柜、气源柜，所述的净化台与排毒柜连接，排毒柜与炉体柜连接，炉体柜与气源柜连接，本实用具有结构简单、操作方便、扩散效率高等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN203256371U | 申请公布日期 | 2013.10.30 |
| 申请号 | CN201320205534.9 | 申请日期 | 2013.04.23 |
| 申请人 | 合肥睿晶科技股份有限公司 | 发明人 | 刘健 |
| 分类号 | C30B31/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B31/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种柔性扩散炉，包括有净化台、排毒柜、炉体柜、气源柜，其特征在于：所述的净化台与排毒柜连接，排毒柜与炉体柜连接，炉体柜与气源柜连接。 | ||
| 地址 | 238300 安徽省合肥市经开区锦绣路316号8楼 | ||