微机电系统

摘要

本发明提供一种微机电系统，能够通过抑制由应力引起的MEMS的固有振动频率的变动来抑制由MEMS的检测灵敏度的变动导致的测量精度下降。首先，由于半导体衬底(2)的变形，固定部(3a～3d)在半导体衬底(2)的y方向上向外侧方向位移。可动体(5)以从半导体衬底(2)浮起的状态配置，因此不受半导体衬底(2)变形的影响，不发生位移。因此，在梁(4a)产生拉伸应力(+σ1)，在梁(4b)产生压缩应力(-σ2)。此时，考虑将梁(4a)和梁(4b)组合而成的弹簧系统，则由作用于梁(4a)的拉伸应力引起的弹簧常数的增加和由作用于梁(4b)的压缩应力引起的弹簧常数的减少相互抵消。

主权项

一种微机电系统，在第一半导体芯片上形成有：(a)第一固定部；(b)一端与上述第一固定部连接的、能够弹性变形的第一梁；(c)第二固定部；(d)一端与上述第二固定部连接的、能够弹性变形的第二梁；和(e)与上述第一梁的另一端和上述第二梁的另一端连接的能够位移的可动体，上述微机电系统的特征在于：当上述第一固定部和上述第二固定部由于上述第一半导体芯片上产生的应力而向同一方向发生位移时，上述第一梁的弹簧常数比上述第一固定部不发生位移时增加，上述第二梁的弹簧常数比上述第二固定部不发生位移时减少。