发明名称 |
偏振光紫外线照射装置 |
摘要 |
本发明提供一种防止异物混入被照射物的偏振光紫外线照射装置。在包括线状的紫外线光源(7)、反射紫外线的反射镜(8)、具备用于使照射的紫外线成为直线偏振光的线栅偏振光器(10)的照射器(6)的偏振光紫外线照射装置(1)中,包括:在被照射物(2)传送至照射器(6)的下方位置的期间,使该被照射物(2)相对于光源(7)的轴线L旋转规定角度的旋转机构(60)。 |
申请公布号 |
CN103376598A |
申请公布日期 |
2013.10.30 |
申请号 |
CN201310146206.0 |
申请日期 |
2013.04.24 |
申请人 |
岩崎电气株式会社;爱古拉飞克斯株式会社;饭沼制作所株式会社 |
发明人 |
今井诚;浅见英一;川锅保文;石飞裕和;大野正之;齐藤行正;国枝利之;柳平房贵 |
分类号 |
G02F1/1337(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/1337(2006.01)I |
代理机构 |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
代理人 |
杨黎峰 |
主权项 |
一种偏振光紫外线照射装置,具有:线状的紫外线光源、反射紫外线的反射镜、具备用于使照射的紫外线成为直线偏振光的线栅偏振光器的照射器,所述偏振光紫外线照射装置的特征在于,包括:在被照射物传送至上述照射器的下方位置的期间,使该被照射物相对于上述光源的轴线旋转规定角度的旋转机构。 |
地址 |
日本东京 |