发明名称 偏振光紫外线照射装置
摘要 本发明提供一种防止异物混入被照射物的偏振光紫外线照射装置。在包括线状的紫外线光源(7)、反射紫外线的反射镜(8)、具备用于使照射的紫外线成为直线偏振光的线栅偏振光器(10)的照射器(6)的偏振光紫外线照射装置(1)中,包括:在被照射物(2)传送至照射器(6)的下方位置的期间,使该被照射物(2)相对于光源(7)的轴线L旋转规定角度的旋转机构(60)。
申请公布号 CN103376598A 申请公布日期 2013.10.30
申请号 CN201310146206.0 申请日期 2013.04.24
申请人 岩崎电气株式会社;爱古拉飞克斯株式会社;饭沼制作所株式会社 发明人 今井诚;浅见英一;川锅保文;石飞裕和;大野正之;齐藤行正;国枝利之;柳平房贵
分类号 G02F1/1337(2006.01)I 主分类号 G02F1/1337(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 杨黎峰
主权项 一种偏振光紫外线照射装置,具有:线状的紫外线光源、反射紫外线的反射镜、具备用于使照射的紫外线成为直线偏振光的线栅偏振光器的照射器,所述偏振光紫外线照射装置的特征在于,包括:在被照射物传送至上述照射器的下方位置的期间,使该被照射物相对于上述光源的轴线旋转规定角度的旋转机构。
地址 日本东京