金属离子电物理清洗系统

摘要

本实用新型涉及一种在物理气相沉积领域的金属离子电物理清洗系统，本系统主要包括真空室、工件夹具、偏压电源、压差电阻、电弧电源、导向板装置和蒸发源。本系统在清洗工件表面的过程中增加了离子导向功能和使用了金属离子作为清洗介质。同现有技术相比，使用本系统所提供技术方案清洗完的工件在镀膜后几乎不会发生掉膜的现象，用“抗压法”检测镀膜后的工件，其结合强度较使用普通清洗方法的镀膜工件要提高一倍以上。

主权项

一种金属离子电物理清洗系统，其特征在于，所述系统主要包括真空室、工件夹具、偏压电源、压差电阻、电弧电源、导向板装置和蒸发源；所述工件夹具、导向板装置、蒸发源和引弧板安装在真空室内；所述真空室的室壁接地；所述偏压电源的正极与压差电阻的一端电性连接，压差电阻的另一端与导向板装置电性连接；偏压电源的正极接地；偏压电源的负极与工件夹具之间电性连接；所述电弧电源的正极与导向板装置电性连接；所述导向板装置能根据清洗工作的需要调节其与工件夹具之间的相对位置和角度。