SENSOR DE PRESSÃO ACOPLADO ELETROSTATICAMENTE

摘要

SENSOR DE PRESSÃO ACOPLADO ELETROSTATICAMENTE A presente invenção refere-se a um sensor sensível à pressão relatado que inclui um elemento flexível contido dentro de um invólucro e uma membrana configurada para exercer uma força eletrostática no elemento flexível para levar o elemento flexível a responder às variações da pressão na membrana. Um método de detecção de pressão relatado inclui o acoplamento elestrotaticamente de uma membrana a um elemento flexível contido dentro de um invólucro para transferir uma resposta à pressão da membrana para o elemento flexível. O movimento do elemento flexível é convertido em um sinal de pressão.