| 摘要 |
Способ сравнительных испытаний на надежность партий интегральных схем, в соответствии с которым на произвольных одинаковых выборках (не менее 10 интегральных схем) из партий проводят измерение электрического информативного параметра до и после воздействия пятью электростатическими разрядами обеих полярностей, потенциалом, предельно допустимым по ТУ, после хранения в нормальных условиях в течение 72 ч и после температурного отжига в течение 2 ч при температуре 100°С, отличающийся тем, что после измерений для каждой ИС находят значения величин Δ=Х-Х, Δ=Х-Х, Δ=Х-Х, где Х- значение информативного параметра в начале измерений (в исходном состоянии), Х- значение информативного параметра после воздействия ЭСР, Х- значение информативного параметра после хранения в течение 72 ч, Х- значение информативного параметра после термического отжига при температуре Т=100°С, по значениям величин Δ, Δ, Δдля каждой выборки судят о сравнительной надежности партий ИС. |
