Verfahren zum Beschichten mikromechanischer Komponenten mit einer dualen Diamantbeschichtung

摘要

Verfahren zum Beschichten mikromechanischer Komponenten eines mikromechanischen Systems, insbesondere eines Uhrwerks, aufweisend:•Bereitstellen einer zu beschichtenden Substratkomponente (4);•Versehen der Komponente mit einer ersten Diamantbeschichtung (2), die derart dotiert ist, um die Leitfähigkeit der Diamantschicht zu steigern;•Versehen der Komponente mit einer zweiten Diamantbeschichtung (3); wobei:•die zweite Diamantbeschichtung durch Abscheidung in einer Reaktionskammer aufgebracht wird; während der CVD Abscheidung, während des letzten Abschnitts des Wachstumsprozesses wird eine kontrollierte Steigerung des Kohlenstoffgehalts in der Reaktionskammer bereitgestellt, wodurch eine Steigerung der sp2/sp3 Kohlenstoff (6) Bindungen bis zu einem sp2 Gehalt im Wesentlichen zwischen 1% und 45% bereitgestellt wird. Entsprechende mikromechanische Komponenten werden ebenfalls bereitgestellt.