发明名称 CMOS kompatibler Drucksensor auf Tunneleffekt-Basis mit Verfahren
摘要
申请公布号 DE102012023429(B8) 申请公布日期 2013.10.24
申请号 DE20121023429 申请日期 2012.11.29
申请人 ELMOS SEMICONDUCTOR AG 发明人 BURCHARD, BERND
分类号 G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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