GEKAPSELTE MEMS-VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR KALIBRIERUNG EINER GEKAPSELTEN MEMS-VORRICHTUNG

摘要

Offengelegt werden eine gekapselte MEMS-Vorrichtung und ein Verfahren zur Kalibrierung einer gekapselten MEMS-Vorrichtung. In einer Ausführungsform umfasst eine gekapselte MEMS-Vorrichtung einen Träger, eine auf dem Substrat angeordnete MEMS-Vorrichtung, eine auf dem Träger angeordnete Signalverarbeitungsvorrichtung, eine auf dem Träger angeordnete Validierungsschaltung und eine auf dem Träger angeordnete Kapselung, wobei die Kapselung die MEMS-Vorrichtung, die Signalverarbeitungsvorrichtung und das Speicherelement kapselt.