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发明名称 GAS DIFFUSING DEVICE
摘要
申请公布号 KR20130006163(U) 申请公布日期 2013.10.24
申请号 KR20120010521U 申请日期 2012.11.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/203;H01L21/3065 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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