发明名称 |
感光性树脂组合物、图案的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种感光性树脂组合物、图案的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置的制造方法。本发明提供一种感度、解析性及矩形性优异的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物含有(A-1)含有具有酸基的结构单元及通式(a-1)所表示的结构单元的聚合物、(A-2)含有通式(a-2)所表示的结构单元的聚合物、(B)光酸产生剂以及(C)溶剂。通式(a-1) 通式(a-2)<img file="DDA00002981721700011.GIF" wi="930" he="378" /> |
申请公布号 |
CN103365083A |
申请公布日期 |
2013.10.23 |
申请号 |
CN201310105324.7 |
申请日期 |
2013.03.28 |
申请人 |
富士胶片株式会社 |
发明人 |
中村秀之;藤本进二;山下史绘 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;G02F1/1333(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
臧建明 |
主权项 |
1.一种感光性树脂组合物,其特征在于,含有:(A-1)含有具有酸基的结构单元及通式(a-1)所表示的结构单元的聚合物;(A-2)含有通式(a-2)所表示的结构单元的聚合物;(B)光酸产生剂;及(C)溶剂,通式(a-1)<img file="FDA00002981721400011.GIF" wi="362" he="287" />通式(a-1)中,R<sup>1</sup>及R<sup>2</sup>分别表示氢原子、烷基或芳基,至少R<sup>1</sup>及R<sup>2</sup>的任一个为烷基或芳基,R<sup>3</sup>表示烷基或芳基,R<sup>1</sup>或R<sup>2</sup>与R<sup>3</sup>也可以连结而形成环状醚,R<sup>4</sup>表示氢原子或甲基,X表示单键或亚芳基;通式(a-2)<img file="FDA00002981721400012.GIF" wi="271" he="385" />通式(a-2)中,R<sup>4</sup>为氢原子或甲基。 |
地址 |
日本东京港区西麻布二丁目26番30号 |