| 发明名称 | 用于集成电路制造的蜂巢状锥形加热器 | ||
| 摘要 | 蜂巢状锥形加热器包括灯罩，其中灯罩具有形成部分圆的外边缘。灯罩具有从灯罩顶面延伸至底面的开口。开口进一步从外边缘延伸至灯罩的中心区域。多个灯被排布为遍及所述灯罩，并被配置为将光发出至灯罩的顶面之外。本发明还公开了用于集成电路制造的蜂巢状锥形加热器。 | ||
| 申请公布号 | CN103369744A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
| 申请号 | CN201210418561.4 | 申请日期 | 2012.10.26 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 林逸宏;李志鸿;李启弘;李资良 |
| 分类号 | H05B3/00(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H05B3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;孙征 |
| 主权项 | 一种装置，包括：蜂巢状锥形加热器，包括：具有外边缘的灯罩，其中所述外边缘形成部分圆，所述灯罩包括从所述灯罩的顶面延伸至底面的开口，并且所述开口从所述外边缘延伸至所述灯罩的中心区域；以及遍及所述灯罩分布的多个灯，所述多个灯被配置为将光发出至所述灯罩的所述顶面之外。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||