发明名称 | 一种柔性太赫兹波调制器 | ||
摘要 | 本发明公开了一种柔性太赫兹波调制器,包括介质基板(1)和附着于介质基板(1)表面的电磁共振器阵列(2),所述的介质基板(1)为柔性介质材料聚酰亚胺,简称PI;所述的电磁共振器阵列(2)由多个电磁共振器单元构成,该电磁共振单元由沉积于介质基板(1)表面的VO2或者V2O5纳米薄膜形成,纳米薄膜的厚度为100~600nm。本发明提供了一种制备过程简单,易于控制、稳定可靠的低光功率下的新型基于柔性基底的太赫兹调制器,为柔性基底集成电路新型器件提供了应用基础。 | ||
申请公布号 | CN103364973A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
申请号 | CN201310273215.6 | 申请日期 | 2013.06.29 |
申请人 | 天津大学 | 发明人 | 胡明;韦晓莹;武雅乔;夏晓旭;朱乃伟 |
分类号 | G02F1/09(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/09(2006.01)I |
代理机构 | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人 | 张宏祥 |
主权项 | 一种柔性太赫兹波调制器,包括介质基板(1)和附着于介质基板(1)表面的电磁共振器阵列(2);其特征在于,所述的介质基板(1)为柔性介质材料基板;所述的电磁共振器阵列(2)由多个电磁共振器单元构成,该电磁共振单元由沉积于介质基板(1)表面的VO2或者V2O5纳米薄膜形成。 | ||
地址 | 300072 天津市南开区卫津路92号 |