物理量传感器以及电子设备

摘要

一种物理量传感器以及电子设备，其能够在实现小型化的同时，具有良好的噪声特性。物理量传感器包括：基板；可动体，具有第一部分及第二部分，并在第一部分上设置有第一可动电极部；梁部，以使可动体可位移的方式对可动体进行支承；第一固定电极部，以与第一可动电极部对置的方式被配置在基板上；第一部分在与第一轴正交的第二轴的方向上的宽度小于，第二部分在第二轴的方向上的宽度，第一固定电极部被设置于，在俯视观察时与第一部分的第二轴的方向上的端部重叠的位置处，且当将第一部分的第二轴的方向上的宽度设定为X，并将第一固定电极部的在俯视观察时与可动体重叠的部分的、第二轴的方向上的宽度设定为L时，被设置在0.0500X≤L≤0.816X的范围内。

主权项

一种物理量传感器，包括：可动体，其能够以第一轴为旋转轴而进行位移，在俯视观察时，以所述第一轴为界而具有第一部分以及第二部分，并且在所述第一部分上设置有第一可动电极部；梁部，其对所述可动体进行支承；第一固定电极部，其以与所述第一可动电极部对置的方式而配置，所述第一固定电极部被设置于，在俯视观察时与所述可动体的所述第一部分的、与所述第一轴正交的第二轴的方向上的端部重叠的位置处，并且，当将所述第一部分的所述第二轴的方向上的宽度设定为X，并将所述第一固定电极部的在俯视观察时与所述可动体重叠的部分的、所述第二轴的方向上的宽度设定为L时，所述第一固定电极部被设置在0.0500X≤L≤0.816X的范围内。