一种化学气相沉积炉

摘要

一种化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体内设有加热器，所述炉体底部设有进气管，所述炉体的内壁上设有与穿过炉壁的送气管相连的配气环，所述配气环上均匀配置有喷嘴。本发明结构布局合理，加工制造难度低，使用可靠性高；利用本发明制备用于人工晶体生长炉的炭/炭复合材料热场产品，可缩短工艺流程，提高生产效率；通过多点及多层次送气，可加强真空化学气相沉积炉内每个微区碳氢气体的浓度和沉积反应的均匀性，有效降低炉内产品沿径向方向和炉体轴向方向的密度偏差，提高产品增密过程的可操控性，进而提高产品质量。

主权项

一种化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体内设有加热器，所述炉体底部设有进气管，其特征在于：所述炉体的内壁上设有与穿过炉壁的送气管相连的配气环，所述配气环上均匀配置有喷嘴；所述配气环的内腔截面积大小为单个喷嘴内腔截面积大小的10～15倍；所述炉体内部设有保温层，所述保温层紧贴于配气环；所述喷嘴前端设有U形槽；还设有稀释气体罐、碳氢气体罐及与稀释气体罐和碳氢气体罐相连的混气罐，所述混气罐通过设有针型阀及气体流量计的管路分别与配气环和进气管相连。