蜿蜒型振动器以及光学反射元件

摘要

本发明提供一种蜿蜒型振动器，其具备：振动梁；压电致动器，其设置在振动梁上。振动梁具有：多个折返部；和多个连结部，该多个连结部与多个折返部交替配置并与多个折返部连结。振动梁具有实质上由连续的多个折返形状形成的蜿蜒形状。压电致动器具有：下部电极，其设置在振动梁上；压电膜，其设置在下部电极上；和上部电极，其设置在压电膜上。在多个折返部各自的内周中点的附近，或者在多个折返形状各自的内周的曲率变化的曲率变化点的附近的至少一方，设置不存在压电膜的不存在区域。该蜿蜒型振动器能够得到大移位。

主权项

一种蜿蜒型振动器，具备：蜿蜒形状的振动梁，其实质上由连续的多个折返形状形成，且具有多个折返部；和多个连结部，该多个连结部与所述多个折返部交替配置并与所述多个折返部连结；以及压电致动器，其具有设置在所述振动梁上的下部电极；设置在所述下部电极上的压电膜；和设置在所述压电膜上的上部电极，在所述多个折返部各自的内周的中点及其附近，或者在所述多个折返形状各自的内周的曲率发生变化的曲率变化点及其附近的至少一方，设置了不存在所述压电膜的不存在区域。