用于制程处理室喷洒头的悬置机构

摘要

用以在制程处理室中悬吊喷洒头的悬吊壁内的应力可通过下列一或多种方式予以改善：(1)气体密封外围，协助保护悬吊壁不直接接触制程气体。该气体密封外围连接至处理室壁或喷洒头，但非直接连接两者；(2)悬吊壁中的开口，在处理室盖件开启时，所述开口可减少悬吊壁暴露于制程气体或周遭环境的机会；(3)实质上垂直配置的一或多个裂口，位于悬吊壁中以协助悬吊壁水平弯折或弯曲；(4)数个悬吊壁，其各自的中心部为共平面。

主权项

一种用于制程处理室的进气歧管，包含：处理室壁，包含处理室顶壁及处理室侧壁，其中处理室壁包括一或多个进气通道；喷洒头，具有数个出气通道；悬置机构，连接于该处理室壁及该喷洒头之间，以将该喷洒头悬吊于该顶壁下方一距离处；以及气体密封外围，延伸于邻近该处理室壁的上方部以及邻近该喷洒头的下方部之间；其中该气体密封外围是仅连接至该处理室壁，或者仅连接至该喷洒头；其中该气体密封外围是藉由一或多个间隙与该处理室壁分隔，或者藉由一或多个间隙与该喷洒头分隔；其中所述间隙具有不大于该气体密封外围的内表面积区域的三分之一的结合面积；以及其中该处理室壁、该喷洒头、该气体密封外围以及所述间隙共同封围一空间，该空间提供自所述进气通道至所述出气通道的气流路径。