一种易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法

摘要

本发明涉及一种易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，包括采用化学气相沉积工艺，在基体模具上沉积热解氮化硼涂层，于1750～1850℃在基体模具上先沉积0.05～0.1mm的热解氮化硼预涂层，然后升温到1800～2000℃，再在热解氮化硼预涂层上按现有技术反应沉积热解氮化硼材料，形成热解氮化硼坩埚。本发明方法得到的PBN坩埚容易脱模，石墨模具易清理；脱模后用压缩空气吹扫使坩埚内壁的PBN预涂层脱落，所得PBN坩埚的内壁洁净光滑，无需再打磨，避免了打磨对PBN坩埚内壁的损伤，节约了时间和人力。

主权项

一种易脱模的热解氮化硼坩埚的制备方法，包括步骤如下：（1）将基体模具安装在旋转装置后，置于化学气相沉积反应室中，关闭炉盖，升温抽真空，当温度达到1750～1850℃时，真空度为200～1000Pa条件下，保温10～30min；（2）然后以氮气作为保护稀释气体，按NH3：BCl3 = (6～11):(4～5)体积比将原料氨气和气态BCl3通入步骤（1）的反应室内，真空度为200～1000Pa，通气时间10～12min，停止通气并保温20～30min，使得基体模具上沉积有0.05～0.1mm的热解氮化硼预涂层；然后，（3）反应室升温至温度1800～2000℃，在真空度为200～1000Pa条件下，以氮气作为保护稀释气体，继续通入原料气体，NH3：BCl3 = (6～11):(4～5)体积比，在热解氮化硼预涂层上沉积形成PBN坩埚；（4）降温冷却后，将基体模具上的PBN坩埚取下，去除PBN坩埚内壁上的热解氮化硼预涂层，得PBN坩埚制品，坩埚内壁光滑洁净无需再打磨处理。