发明名称 |
提供深度分辨图像的带电粒子显微镜 |
摘要 |
本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法,包括以下步骤:将样本安置在样本保持器上;使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上,由此产生相互作用,该相互作用导致从样本发出发射辐射;使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分,其特征在于以下步骤:包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子;将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数,从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={(On,En)};使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积,并将其空间分解为结果集合R={(Vk,Lk)},其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk,由此n和k是整数序列的成员,并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。 |
申请公布号 |
CN103367085A |
申请公布日期 |
2013.10.23 |
申请号 |
CN201310115360.1 |
申请日期 |
2013.04.03 |
申请人 |
FEI 公司 |
发明人 |
F.布格霍贝尔;E.G.T.博施;P.波托塞克;X.朱格;B.H.利希 |
分类号 |
H01J37/22(2006.01)I;H01J37/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/22(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
刘金凤;卢江 |
主权项 |
一种利用带电粒子显微镜检查样本的方法,包括以下步骤:‑ 将样本安置在样本保持器上;‑ 使用粒子‑光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上,由此产生相互作用,该相互作用导致从样本发出发射辐射;‑ 使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分,其特征在于以下步骤:‑ 包含所述检测器装置以检测发射辐射中的电子;将所述检测器装置的输出On记录为所述电子的动能En的函数,从而汇集针对En的多个值的测量结果集合M={(On,En)};‑ 使用计算机处理设备对测量结果集合M自动地去卷积,并将其空间分解为结果集合R={(Vk,Lk)},其中空间变量V展示出在以表面S为参考的关联离散深度水平Lk处的值Vk,由此n和k是整数序列的成员,并且空间变量V代表样本的作为在样本体积内的位置的函数的物理性质。 |
地址 |
美国俄勒冈州 |