| 发明名称 | 基板处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明的基板处理装置，包括：循环路，包括贮存磷酸水溶液的处理槽、输送磷酸水溶液的循环泵、对磷酸水溶液进行加热的循环用加热器、对磷酸水溶液进行过滤的过滤器，使从处理槽排出的磷酸水溶液依次流过循环泵、循环用加热器、过滤器，并且使磷酸水溶液从过滤器返回上述处理槽中；分支管，在循环用加热器与过滤器之间从循环路分支，从循环路中提取磷酸水溶液；浓度测定部，与分支管相连通连接，通过电位差测定法测定磷酸水溶液中的硅浓度。 | ||
| 申请公布号 | CN103364478A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
| 申请号 | CN201310055320.2 | 申请日期 | 2013.02.21 |
| 申请人 | 大日本网屏制造株式会社 | 发明人 | 高桥朋宏;荒木浩之 |
| 分类号 | G01N27/60(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/60(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 董雅会;郭晓东 |
| 主权项 | 一种基板处理装置，其特征在于，包括：循环路，包括贮存磷酸水溶液的处理槽、输送磷酸水溶液的循环泵、对磷酸水溶液进行加热的循环用加热器、对磷酸水溶液进行过滤的过滤器，用于使从上述处理槽排出的磷酸水溶液依次流过上述循环泵、上述循环用加热器、上述过滤器，并且使磷酸水溶液从上述过滤器返回上述处理槽中；分支管，在上述循环用加热器与上述过滤器之间从上述循环路分支，用于从上述循环路提取磷酸水溶液；浓度测定部，与上述分支管相连通连接，通过电位差测定法测定磷酸水溶液中的硅浓度。 | ||
| 地址 | 日本国京都府京都市 | ||