一种扩散炉密封垫圈

摘要

本实用新型提供了一种扩散炉密封垫圈，形状为球碗型，球碗的内外壁分别与尾气管上的标准球碗和大石英管尾管上的标准球头紧密接触，碗底开有通孔，容纳尾气管通过，所述球碗的内外壁各有至少两道平行于碗口的凸起环。本实用新型结构简单、制备方便，能够有效防止大石英管的尾管与排气的尾气管粘连，明显减少了由于磷酸的生成造成石英管的腐蚀。

主权项

一种扩散炉密封垫圈，其特征在于：所述的密封垫圈为球碗型，球碗的内外壁分别与尾气管上的标准球碗和大石英管尾管上的标准球头紧密接触，碗底开有通孔，容纳尾气管通过，所述球碗的内外壁各有至少两道平行于碗口的凸起环。